激光精密加工技術
激光束可以聚焦到很小的尺寸,因而特別適合于精密加工。按照加工材料的尺寸大小和加工的精度要求,將目前的激光加工技術分為三個層次:
(1)大型件材料激光加工技術,以厚板(數毫米至幾十毫米)為主要對象,其加工精度一般在毫米或者亞毫米級;
(2)精密激光加工技術,以薄板(0.1~1.0 mm)為主要加工對象,其加工精度一般在十微米級;
(3)激光微細加工技術,針對厚度在100μm以下的各種薄膜為主要加工對象,其加工精度一般在十微米以下甚至亞微米級。
在機械行業中,精密通常是指表面粗糙度小、各種公差(包括位置、形狀、尺寸等)范圍小。這里所說的“精密”,是指被加工區域的縫隙小,就是說加工所能達到的極限尺寸小。
在上述三類激光加工中,大型件的激光加工技術已經日趨成熟,產業化的程度已經非常高;激光加工微細加工技術如激光微調、激光精密刻蝕、激光直寫技術等也已在工業上得到了較為廣泛的應用。
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